光刻机的元件数量可达十万级别‌。具体来说：

• ‌元件数量‌：一台EUV光刻机的零件数量有‌10万个‌‌12。

• ‌元件种类‌：配置一台完整的光刻机，需要多达百余种甚至上千种精密部件的协同工作‌2。

• ‌元件生产‌：参与光刻机零部件的生产厂家超过5000多家‌1。

光刻机的复杂结构和精密元件共同构成了其高精度、高效率的制造能力。